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3月22日光刻机（胶）板块较上一交易日下跌0.84%，新莱应材领跌。当日上证指数报收于3265.75，上涨0.31%。深证成指报收于11496.93，上涨0.61%。光刻机（胶）板块个股涨跌见下表：

从资金流向上来看，当日光刻机（胶）板块主力资金净流出7.44亿元，游资资金净流入2004.26万元，散户资金净流入7.24亿元。光刻机（胶）板块个股资金流向见下表：

北向资金方面，当日光刻机（胶）板块北向资金持股市值为83.71亿元，增持2.68亿元。其中增持最多的是大族激光，增持了1.29亿元。减持持最多的是炬光科技，减持了0.12亿元。光刻机（胶）板块北向资金持股变动明细见下表：